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方案概述

    在半導(dǎo)體、顯示面板的蝕刻工藝以及金屬表面處理的磷化流程中,會(huì)產(chǎn)生大量含有雜質(zhì)的廢磷酸液。這些廢酸若直接作為危廢處理,不僅成本高昂,更是對(duì)寶貴磷資源的巨大浪費(fèi),同時(shí),高濃度磷排放會(huì)引發(fā)水體富營(yíng)養(yǎng)化,破壞生態(tài)平衡。本方案采用預(yù)處理-精密凈化分離-除鋁設(shè)備-低溫蒸發(fā)設(shè)備的方式得到高濃度的磷酸,酸比重≥1.7,鋁離子去除率≥70%,回收率≥80%,回用于車間。

 

    預(yù)處理單元:通過精密過濾等手段,有效去除廢酸中的懸浮顆粒物與膠體雜質(zhì)。

    核心分離單元:采用國(guó)際先進(jìn)的DTRO膜,選擇性分離酸和金屬鹽離子,實(shí)現(xiàn)磷酸與金屬雜質(zhì)的高效分離。

    濃縮提純單元:將分離后的稀磷酸和除鋁設(shè)備產(chǎn)生的廢水混合后通過節(jié)能的MVR(機(jī)械蒸汽再壓縮)蒸發(fā)系統(tǒng)進(jìn)行濃縮,最后再通過RO卷式膜系統(tǒng),提取高純度磷酸。 

 

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