泛半導體（芯片、顯示、光伏、半導體照明等）是國家戰略性高端產業，其生產過程產生的廢氣具有高毒有害、成分復雜、濃度波動大、處理要求極高的特點，對治理系統的安全性、穩定性、精度要求遠超普通行業。
深圳市天得一環境科技有限公司，深耕工業廢氣治理多年，聚焦泛半導體產業CVD、外延、刻蝕、清洗、顯影等關鍵工序，針對VOCs、強酸強堿、特種高危氣體、硅烷類廢氣，提供高精度、高安全、高可靠性的一體化治理解決方案，已成功服務天域半導體等行業頭部企業，以技術實力與標桿案例，成為泛半導體廢氣治理領域可靠伙伴。
一、公司實力與權威資質
作為國家高新技術企業、專精特新 “小巨人” 企業，天得一具備服務高端制造的全鏈條能力；
擁有環境工程設計、環保工程承包、機電安裝等全資質；
通過 ISO9001、ISO14001、ISO45001 等體系認證；
自主研發核心設備，具備設計 — 生產 — 施工 — 運維全流程交付能力；
多年半導體級項目實戰經驗，安全穩定、長期達標。
二、泛半導體行業廢氣治理痛點
泛半導體產業鏈在電子化學品生產、CVD、外延檢修、刻蝕、顯影、清洗等環節產生的廢氣主要包括：
1. 酮類、醇類、烴類等 VOCs
2. 氟化物、氯化氫、硫酸霧、氨等 酸堿氣體
3. SiH?、PH?、B?H?、AsH?、PFCs 等 高危特氣
廢氣治理的核心：將極高危工藝廢氣通過精密、可靠、協同的系統，安全轉化為穩定無害物質，是生產安全與環保達標關鍵。
三、天得一核心治理設備與方案
1. 干式吸附設備（Dry Scrubber）
采用專研吸附劑，牢牢固定有害成分，生成穩定固態化合物；尾氣進入多級酸堿塔 + 吸附中央系統，安全穩定。
2. 多級水洗設備（Wet Scrubber）
自主研發，六級及以上水洗室，氣液充分接觸，凈化效率 ≥ 99%，適配泛半導體常規酸堿與 VOCs 廢氣。
3. 電熱水洗設備（Heat Wet Scrubber）
可處理 1000℃內可分解特氣，凈化效率高達 99.9%，裂解 + 燃燒 + 冷凝，安全徹底。
4. 電熱水冷設備（HC Scrubber）
專為氫氣、氨氣定制，高溫裂解 + 燃燒 + 多級冷凝，凈化效率 99.9%。
5. 等離子水洗設備（Plasma Wet Scrubber）
反應溫度 1500–3000℃，凈化效率 ≥ 99.9%，適用范圍更廣、處理更徹底。
6. 硅烷燃燒水洗塔
自研新型專用設備，燃燒 + 吸收 + 清灰一體化，凈化效率高達 99.99%，專門應對硅烷類高危廢氣。
四、成功案例：天域半導體
天域半導體是國內前三的碳化硅外延片制造商，生產過程產生非甲烷總烴、酸霧、氨氣等復雜廢氣。
治理方案：預處理 + 兩級活性炭深度吸附 + 酸堿塔吸收
項目成果：系統穩定運行、排放長期達標、安全無隱患，成為泛半導體廢氣治理標桿示范項目。
五、我們的核心優勢
高安全：全流程防爆、防腐蝕、防泄漏設計
高精度：適配半導體級嚴苛廢氣標準
高效率：核心設備凈化效率最高可達 99.99%
全案例驗證：頭部半導體企業實戰背書
一站式交付：方案、設備、施工、運維全覆蓋
天得一，以硬核技術守護泛半導體產業安全，助力中國高端制造綠色高質量發展。
